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少子壽命測試儀(MDP)
MD picts溫度依賴型壽命測試係統
MD picts溫度依賴型壽命測試係統

產品簡介
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產品簡介:
MD picts溫度依賴型壽命測試係統可對材料電學特性進行非接觸、無損傷的單點測量。總體而言,MD-PICTS設備適用於多種材料及不同製備階段的測量,涵蓋矽原料、裸片、各類中間製備階段樣品,以及砷化镓(GaAs)、磷化銦(InP)等化合物半導體。該係統可檢測電阻率高於 0.3 Ω cm的單晶矽與多晶矽,重要聚焦缺陷、少子壽命及光電導的溫度依賴型測量,同時可檢測矽中的汙染物及電活性晶體中的缺陷,具備微波光電導衰減瞬態(μPCD)和穩態(MDP)測量功能。
碲鎘汞|碳化矽 | 化合物半導體 | 氧化物 | 寬帶隙材料 | 鈣鈦礦| 外延層
[ HgCdTe | SiC | InP | ZnS | CdTe | GaAs | GaN | Ge ] and more
重點優勢:
1)賦能材料缺陷根源分析:無損傷、高靈活、高精度
2)采用斯特林製冷器(Stirling refrigerator)冷卻,無需操作液氮
3)針對各類材料的定製化激光與光學集成方案
4)全自動溫度依賴型測量
5)MDpicts可覆蓋幾乎所有半導體材料的電學特性表征
技術規格:

應用案例:
光電導測量與陷阱態分析
弗萊貝格儀器(Freiberg Instruments)的MDPmap與MDpicts係統,配備355 nm激光器(適配瞬態微波光電導衰減法μ-PCD)或375 nm激光二極管(適配穩態微波光電導法MDP),適用於寬帶隙氮化物半導體的光電導測量與陷阱態分析。n 型摻雜的均勻性可通過光電導信號(信號強度)進行分析,該信號與材料的電阻率及載流子壽命密切相關。


微波探測光致電流瞬態譜(MD-PICTS)
在半導體缺陷研究中,溫度依賴型方法的應用極為普遍,例如深能級瞬態譜(DLTS)。


碳化矽(SiC)的少子壽命測量
近年來,碳化矽(SiC)材料的質量已取得很大的進步,因此在大功率器件等應用場景中,碳化矽正日益成為矽(Si)材料的有力競爭者。作為寬帶隙半導體,SiC相較於矽具有諸多優勢。少子壽命是影響半導體器件性能的重要參數之一,尤其對於SiC在高壓器件中的應用而言至關重要。因此,有必要通過壽命工程優化,使特定器件實現強大性能。為了以高良率製造碳化矽器件,不僅需要蘑菇视频在线观看版免费率的材料表征技術,還需借助相關方法探究SiC中的缺陷根源,從而進一步提升材料質量。



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